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Interactions plasma / surfaces : utilisation des plasmas froids pour le traitement et la modification de surfaces

CNRS Formation Entreprises
Résumé
4 Jours
1 900 EUR hors taxes
Formation Professionnelle

Description de la formation

Découvrez la formation Interactions plasma / surfaces : utilisation des plasmas froids pour le traitement et la modification de surfaces proposée par Le CNRS et formez-vous avec des professionnels du secteur ! En vous formant avec Le CNRS vous aborderez les thématiques suivantes : Chimie, Science. Pour en savoir plus, n'hésitez pas à contacter directement l'organisme à l'aide du formulaire de contact présent sur cette page.

Objectifs visés

- Connaître les mécanismes de base de création d'un plasma froid
- Savoir utiliser des dispositifs optique et électrostatique de caractérisation
- Acquérir les bases des procédés de dépôts par voie chimique (CVD) et physique (PVD)
- Appréhender les mécanismes de gravure de couches minces par plasmas
- Connaître les principaux types de réacteurs plasma, radiofréquence et micro-onde

Contenu

- Bases théoriques des plasmas
- Production de plasmas froids
- Diagnostics optiques des plasmas
- Procédés de pulvérisation et caractérisation des couches minces obtenues
- Fonctionnement d'un réacteur RF (13.56 MHz) (TP)
- Plasmas et croissance de films minces
- Introduction aux mécanismes de gravure
- Introduction aux plasmas à la pression atmosphérique
- Utilisation des sondes de Langmuir (TP)
- Utilisation de l'actinométrie pour la caractérisation d'un plasma (TP)
- Traitements de surfaces des polymères et dépôts de couches minces organiques par plasma
- Nouveau procédé de dépôt de couches minces (PeALD)

Programme détaillé téléchargeable ICI ou sur la page web dédiée à cette formation sur le site du LPSC.

Public Cible


Techniciens supérieurs, ingénieurs, chercheurs

Prérequis


Notions de base en physique (niveau Bac + 2 minimum)

Moyens Pédagogiques


Dispositif de mesure par sonde électrostatique (de Langmuir) ; spectromètre optique de haute résolution (Jobin-Yvon FHR1000) ; dispositif interférentiel de mesure d'épaisseur ; réacteur plasma ECR (2,45 GHz) ; réacteur R.F. (13,56 MHz)

Informations pratiques

De 6 à 18 stagiaires

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Contact

CNRS Formation Entreprises

Avenue de la Terrasse
91190 Gif-sur-Yvette Cedex

 Afficher le numéro
cnrsformation.cnrs.fr

Organisme de formation: CNRS Formation Entreprises

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